
RGH25F UHV讀數(shù)頭與REF接口配合使用,該接口包含自動(dòng)增益控制和獨(dú)特的自調(diào)節(jié)電路,可維護(hù)信號(hào)完整性。
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RGH25F高真空 (UHV) 讀數(shù)頭由精選的低除氣速率材料和粘合劑制造而成。該產(chǎn)品封裝在一個(gè)真空兼容袋中以保持清潔。RGH25F UHV讀數(shù)頭與REF接口配合使用,該接口包含自動(dòng)增益控制和特別的自調(diào)節(jié)電路,可維護(hù)信號(hào)完整性。


RGS20是一款由薄型柔性鋼帶制成的帶狀柵尺,柵距為20 μm,鋼帶經(jīng)過(guò)鍍金具有更高的反射率和耐腐蝕性??梢允褂帽趁孀詭У腢HV兼容不干膠帶將其安裝到金屬、陶瓷和合成材料等大多數(shù)工程材料上。RGS可用柵尺端壓塊固定到基體上,并與基體的熱膨脹系數(shù)保持一致。柵尺成卷供貨,用戶可根據(jù)需要任意裁剪,可滿足長(zhǎng)達(dá)50 m的軸長(zhǎng)需要。
RGH25F UHV真空讀數(shù)頭用適合高真空環(huán)境的材料及粘合劑特制而成,除氣率低,進(jìn)行殘余氣體分析證明其不會(huì)污染真空環(huán)境。這些讀數(shù)頭還具有耗電低和發(fā)熱小的特點(diǎn)。
RGH25F UHV讀數(shù)頭輕薄小巧,可輕松置入幾乎所有的受限空間。
REF接口包含自動(dòng)增益控制 (AGC) 和特別的自調(diào)節(jié)電路,可確保優(yōu)異的信號(hào)完整性和非常低的周期誤差。
RGS鋼帶柵尺有多種長(zhǎng)度可供選擇,長(zhǎng)可達(dá)50 m(如需更長(zhǎng)的柵尺,請(qǐng)聯(lián)系雷尼紹)
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測(cè)量標(biāo)準(zhǔn) |
RGS20-S:鍍金鋼帶,帶保護(hù)膜或聚酯涂層 |
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讀數(shù)頭尺寸 (LxWxH) |
36 mm x 13.5 mm x 10.5 mm |
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柵距 |
20 μm |
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熱膨脹系數(shù) |
用端壓塊固定柵尺端部后,保持與基體材料膨脹系數(shù)一致 |
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精度等級(jí) |
±15 μm/m(應(yīng)用2點(diǎn)補(bǔ)償時(shí)為±3 μm/m) |
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參考零位 |
利用磁勵(lì)體的單向重復(fù)精度達(dá)到1單位分辨率 |
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限位開(kāi)關(guān) |
可選單限位(訂貨時(shí)選擇) |
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柵尺長(zhǎng)度 |
長(zhǎng)達(dá)50,000 mm |
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最高速度 模擬 數(shù)字 |
(帶REF接口): -3 dB時(shí)可達(dá)6 m/s 高可達(dá)5 m/s |
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電子細(xì)分誤差 (SDE) |
一般小于±0.05 μm |
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動(dòng)態(tài)信號(hào)控制 |
自調(diào)節(jié)主動(dòng)修正包括自動(dòng)偏置控制 (AOC)、自動(dòng)增益控制 (AGC) 和自動(dòng)平衡控制 (ABC),在操作過(guò)程中實(shí)現(xiàn)優(yōu)性能 |
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增量信號(hào) 模擬 數(shù)字 |
(帶REF接口): 1 Vpp(周期為20 μm) 分辨率從5 μm至5 nm |
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電氣連接 |
電纜長(zhǎng)度為1.5 m、3 m和5 m,采用D型插頭(15針) |
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電源 |
5 V -5%,+10%,最大200 mA(無(wú)端接) |
| 讀數(shù)頭功耗 | 50 mA |
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振動(dòng)(工作) |
55 Hz至2000 Hz時(shí)100 m/s2 (最大值) |
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沖擊(非工作) |
1000 m/s2,6 ms,?正弦 |
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工作溫度 |
0 °C至+55 °C |
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烘焙溫度(非工作) |
120 °C(僅限讀數(shù)頭和柵尺) |
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防護(hù)等級(jí) |
讀數(shù)頭:IP40 接口:IP20 |
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電纜構(gòu)造 |
鍍錫編織銅線電纜,單層屏蔽。PTFE絕緣 |
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