
TONiC是雷尼紹推出的小型非接觸式增量式光柵系統(tǒng),速度可達10 m/s,與Ti接口配套使用時,在線性和旋轉應用中分辨率達1 nm。
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什么是TONiC?
TONiC是雷尼紹推出的小型非接觸式增量式光柵系統(tǒng),速度可達10 m/s,與Ti接口配套使用時,在線性和旋轉應用中分辨率達1 nm。由于安裝公差大,并且只需按下按鈕即可進行校準,因此TONiC系統(tǒng)的安裝快捷簡單。TONiC的動態(tài)信號處理功能可提高信號穩(wěn)定性,而且電子細分誤差低,通常小于±30 nm,從而有助于實現(xiàn)卓越的運動控制性能。TONiC UHV將增量式光柵技術引入低至10-10 Torr的高真空應用中,這類應用要求在緊湊的外形中保持高性能。
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柵尺名稱 |
精度 |
柵距 |
熱膨脹 系數(shù) |
柵尺*大長度 |
讀數(shù)頭兼容性 |
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RGSZ/RGSN
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±15 μm/m |
20 μm |
使用端壓塊固定到基體,保持與基體相同的熱膨脹 |
如需超過50 m的長度,請聯(lián)系雷尼紹 |
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柵尺名稱 |
精度 |
柵距 |
熱膨脹 系數(shù) |
柵尺*大長度 |
讀數(shù)頭兼容性 |
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搭配可選FASTRACK?的RTLC20
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±5 μm/m |
20 μm |
~10.6 μm/m/°C |
10 m |
TONiC、TONiC UHV |
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柵尺名稱 |
精度 |
柵距 |
熱膨脹 系數(shù) |
柵尺*大長度 |
讀數(shù)頭兼容性 |
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RELM/RELE
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1 m內為±1 μm,以后±1 μm/m |
20 μm |
0.75 ±0.35 μm/m/°C |
1.5 m |
TONiC、TONiC UHV |
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柵尺名稱 |
精度 |
柵距 |
熱膨脹 系數(shù) |
柵尺*大長度 |
讀數(shù)頭兼容性 |
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RSLM/RSLE/RSLC
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1 m內為±1.5 μm, 2 m內為±2.25 μm,3 m內為±3 μm, 5 m內為±4 μm |
20 μm |
~10.8 μm/m/°C |
5 m |
TONiC、TONiC UHV |
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柵尺名稱 |
刻劃精度(取決于圓光柵直徑) |
柵距 |
熱膨脹 系數(shù) |
圓光柵直徑 |
讀數(shù)頭兼容性 |
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RESM/REST/RESD
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±3.97至±0.38角秒 |
20 μm |
17 μm/m/°C
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52至550 mm
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TONiC、TONiC UHV |
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柵尺名稱 |
安裝精度(取決于圓光柵直徑) |
柵距 |
熱膨脹 系數(shù) |
圓光柵直徑 |
讀數(shù)頭兼容性 |
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REXM/REXT
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(≥100 mm直徑)±1角秒 |
20 μm |
17 μm/m/°C |
52至417 mm |
TONiC、TONiC UHV |
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