
TONiC RSLM光柵系統(tǒng)提供輕便、堅(jiān)固耐用且使用簡(jiǎn)單的鋼帶柵尺,比玻璃柵尺具有更高的精度,因此非常適合于高性能的長(zhǎng)軸應(yīng)用。
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TONiC是雷尼紹推出的小型非接觸式光柵系統(tǒng),速度可達(dá)10 m/s,與Ti接口配套使用時(shí),在線性和旋轉(zhuǎn)應(yīng)用中分辨率達(dá)1 nm。由于安裝公差大,并且只需按下按鈕即可進(jìn)行校準(zhǔn),因此TONiC系統(tǒng)的安裝快捷簡(jiǎn)單。TONiC的動(dòng)態(tài)信號(hào)處理功能可提高信號(hào)穩(wěn)定性,而且電子細(xì)分誤差低,通常小于±30 nm,從而有助于實(shí)現(xiàn)卓越的運(yùn)動(dòng)控制性能。
什么是RSLM柵尺?


RSLM是一種柵距為20 μm的不銹鋼直線硬柵尺,其具有多種IN-TRAC光學(xué)參考零位,包括供客戶選擇的固定間距參考零位,以及位于柵尺中央或者端部的單個(gè)參考零位。
它可與精細(xì)柵距的玻璃柵尺媲美,在5 m長(zhǎng)度內(nèi)的總體精度(包括斜率誤差和線性誤差)優(yōu)于±4 μm。它可以方便地成卷存放,一旦展開(kāi),就可以像直線柵尺一樣使用。
系統(tǒng)設(shè)計(jì)人員可根據(jù)要求選擇背面自帶的特殊配方不干膠帶或用機(jī)械夾具進(jìn)行安裝。兩種安裝方式都有助于使柵尺不受基體熱膨脹影響。
TONiC RSLM光柵系統(tǒng)提供輕便、堅(jiān)固耐用且使用簡(jiǎn)單的鋼帶柵尺,比玻璃柵尺具有更高的精度,因此非常適合于高性能的長(zhǎng)軸應(yīng)用。
TONiC讀數(shù)頭采用第三代光學(xué)濾波系統(tǒng),噪聲(抖動(dòng))更低,包括自動(dòng)增益控制和自動(dòng)偏移量控制在內(nèi)的動(dòng)態(tài)信號(hào)處理使其功能更強(qiáng)大,因此具有優(yōu)異的可靠性和抗污染能力以及穩(wěn)定的性能。這種組合全部集成到讀數(shù)頭內(nèi)部,可提供高質(zhì)量的信號(hào)純度和較低的電子細(xì)分誤差(典型值 <±30 nm)。因此,實(shí)現(xiàn)了平穩(wěn)的速度控制,并且掃描性能和位置穩(wěn)定性都獲得提高;對(duì)許多應(yīng)用來(lái)說(shuō),基本參數(shù)都包含在一個(gè)緊湊型讀數(shù)頭中。
讀數(shù)頭上的LED安裝指示燈直觀顯示信號(hào)強(qiáng)度,而可選的診斷組件在機(jī)器收起讀數(shù)頭后可遠(yuǎn)程檢查系統(tǒng)性能。只需按下按鈕,即可校準(zhǔn)參考零位和增量信號(hào),無(wú)需機(jī)械調(diào)整或其他診斷工具??蛻艨蛇x的IN-TRAC光學(xué)參考零位直接刻劃在增量柵尺上,不僅令設(shè)計(jì)緊湊,而且校準(zhǔn)步驟也更簡(jiǎn)單。這樣可產(chǎn)生參考零位輸出,在整個(gè)工作溫度和速度范圍內(nèi)雙向重復(fù)精度都能夠達(dá)到單位分辨率。
接口選項(xiàng):
TD(雙分辨率)接口
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DOP(雙輸出)接口
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測(cè)量標(biāo)準(zhǔn) |
RSLM:高精度不銹鋼直線硬柵尺 還提供帶有端部參考零位的柵尺,如RSLE,以及帶有可選參考零位的柵尺,如RSLC |
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讀數(shù)頭尺寸 (LxWxH) |
35 mm x 13.5 mm x 10 mm |
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柵距 |
20 μm |
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熱膨脹系數(shù) |
~10.8 μm/m/°C |
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20 °C時(shí)的精度等級(jí) |
1 m內(nèi)為±1.5 μm,2 m內(nèi)為±2.25 μm,3 m內(nèi)為±3 μm,5 m內(nèi)為±4 μm,校準(zhǔn)可溯源到國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) |
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參考零位 |
IN-TRAC 參考零位 有關(guān)各種參考零位位置選項(xiàng),詳見(jiàn)規(guī)格手冊(cè) |
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限位開(kāi)關(guān) |
單限位或雙限位(訂貨時(shí)選擇) |
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柵尺長(zhǎng)度 |
80 mm至5000 mm |
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最高速度 模擬 數(shù)字 |
(詳見(jiàn)規(guī)格手冊(cè)) -3 dB時(shí)可達(dá)10 m/s 最高可達(dá)10 m/s |
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電子細(xì)分誤差 (SDE) |
一般 <±30 nm |
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動(dòng)態(tài)信號(hào)控制 |
實(shí)時(shí)信號(hào)調(diào)節(jié),包括自動(dòng)增益控制 (AGC) 和自動(dòng)偏置控制 (AOC),可在操作期間實(shí)現(xiàn)性能優(yōu)化 |
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增量信號(hào) 模擬 數(shù)字 |
1 Vpp(周期為20 μm) 分辨率從5 μm至1 nm |
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電氣連接 |
電纜長(zhǎng)度為0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m和10 m,采用微型插頭(直接連接至TONiC接口) |
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電源 |
5 V ±10%,<100 mA(模擬系統(tǒng)),<200 mA(數(shù)字系統(tǒng))(無(wú)端接) |
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振動(dòng)(工作) |
55 Hz至2000 Hz時(shí)100 m/s2(最大值) |
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沖擊(非工作) |
1000 m/s2,6 ms,?正弦 |
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工作溫度(系統(tǒng)) |
0 °C至+70 °C |
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防護(hù)等級(jí) |
讀數(shù)頭:IP40 接口:IP20 |
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